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RTP-1000-LV3C 900℃帶3路浮子混氣RTP管式爐

應(yīng)用范圍：RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速熱處理) 管式爐。配有三路流量計(jì)和一個(gè)機(jī)械泵（真空度達(dá) 10-3 torr ）。他專為半導(dǎo)體基片和太陽(yáng)能電池或其他樣品（尺寸可達(dá) 3" ）退火而設(shè)計(jì)。這款設(shè)備是采用 9KW的紅外燈加熱，最快升溫速度是 100oC/秒. 30 段精確溫度控制，精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制軟件可以通過計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。安裝在移動(dòng)架里的三路氣體控制和真空泵跟RTP 爐體相連接。

產(chǎn)品型號(hào) ：RTP-1000-LV3C

上架時(shí)間：2019-07-18

安裝尺寸：600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)

重量：210 lbs

A^-A⁺

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RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速熱處理) 管式爐。配有三路流量計(jì)和一個(gè)機(jī)械泵（真空度達(dá) 10-3 torr ）。他專為半導(dǎo)體基片和太陽(yáng)能電池或其他樣品（尺寸可達(dá) 3" ）退火而設(shè)計(jì)。這款設(shè)備是采用 9KW的紅外燈加熱，最快升溫速度是 100oC/秒. 30 段精確溫度控制，精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制軟件可以通過計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。安裝在移動(dòng)架里的三路氣體控制和真空泵跟RTP 爐體相連接。

性能指標(biāo)和基本配置
關(guān)于RTP 爐子	● 爐體結(jié)構(gòu): 雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無(wú)需水冷或風(fēng)冷, ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 ● 加熱元件: 8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm) ● 加熱區(qū): 4"X12" length （ +/-5oC ） ● 石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length ● 真空法蘭: 不銹鋼制作，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫”O(jiān)“型圈密封。長(zhǎng)時(shí)間在 > 900oC 條件下運(yùn)行必須采用水冷 ● 循環(huán)水流量: 0.5 m3 /hr ● 溫控儀: 通過可控硅（SCR) PID 自動(dòng)控制 ● 帶自整定功能的30 程序精確控制 ● 具有過熱保護(hù)和斷偶保護(hù)功能 ● 控溫精度: +/- 0.5oC ● RS485 接口可與電腦連接 ● 包含軟件(要求Window XP/7 系統(tǒng)) ● 最快升溫速度: 室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec ● 工作溫度: 最高1100oC ● 功率: 208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 9 KW Max. (> 60A 保險(xiǎn)) ● 尺寸: 760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) ● 重量: 45 kg (100 lbs)
結(jié)構(gòu)圖	可滑動(dòng)的石英樣品架, 最大可放 3" 基片爐子可以以 100 oC/S升溫到1000 oC, 打開上蓋可快速降溫滑動(dòng)法蘭使得裝載樣品很容易
可選	本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
關(guān)于真空泵和氣體流量計(jì)	● 3個(gè)氣體流量計(jì) (量程40-400 cc/min ，精度4% FS) 安裝在移動(dòng)架底部,顯示每路氣體的流量。 ● 高速真空泵2TW-4C-220v （真空度可達(dá)f 10-2 torr）. 通過橡膠管與RTP爐子相連. ● 4個(gè)不銹鋼針閥（移動(dòng)架的側(cè)面）分別控制3路進(jìn)氣和一路混合氣。 ● 4個(gè)壓力表（移動(dòng)架的正面）分別顯示每路氣體和混氣的壓力。
外形尺寸	600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)
重量	210 lbs
國(guó)家專利	一種快速高溫退火爐；專利編號(hào)：ZL-2011-2-0077168.4 尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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